石英钟罩式MWPCVD制备金刚石薄膜的研究

来源 :第九届全国等离子体科学技术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sb129

【摘要】

：

利用改进完善的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）装置考察了基片预处理、沉积气体比例、沉积气压、基片位置等工艺以MWPCVD制备金刚石薄膜的影响；SEM形貌观察和Raman

【作者】

：

俞世言丁振峰刘东平马腾才邬钦崇

【机构】

：

大连理工大学三束材料改性国家重点联合实验室中国科学院等离子物理研究所

【出处】

：

第九届全国等离子体科学技术会议

【发表日期】

：

1999年8期

【关键词】

：

石英钟罩微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

利用改进完善的石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积（MWPCVD）装置考察了基片预处理、沉积气体比例、沉积气压、基片位置等工艺以MWPCVD制备金刚石薄膜的影响；SEM形貌观察和Raman谱分析都表明石英钟罩式MWPCVD制备高质量金刚石薄膜有显著的优越性。

其他文献

扫描电镜研黄土坡滑坡石英的微结构及意义

会议

扫描电镜黄土坡滑坡石英

幼儿活动中规则意识的培养

有这样一句名言“播下行为,收获习惯,播下习惯,收获性格.”这就是说良好的行为习惯是可以通过教育来培养的.规则是社会意识的反映,一定的游戏规则总是反映一定的价值取向,渗

期刊

高频薄膜石英晶体振荡器的改进

会议

高频薄膜

石英钟表频率测试

会议

石英钟表

幼儿语言表达能力教学方略

幼儿正处于心智及各种素养的发端期,他们的心理特征和认知能力都与小学生有着较大的区别.培养幼儿的语言表达能力,必须以符合幼儿心理和学习特征的形式、内容、方法来组织实

期刊

读者心声

生成性思维——敬师课程意识的后现代转向

期刊

心声读者后现代转向生成性思维课程意识

压控晶振用石英晶体谐振器扩展频偏的理论分析

会议

压控晶振石英晶体谐振器扩展频偏

幼儿园生成课程中的若干思考

幼儿园生成课程是在特定的教育情境下产生的,是教师根据幼儿们的兴趣、年龄、个体差异以及教育情境等因素生成的各种活动.课程本身具有一定的目的性和计划性,却又不能限制幼

期刊

修身：教育潜在力量的开发

不少教师在谈及自己的职业时,习惯性地将自己戏称为“教书匠”。粗听之,这种说法并无多大的不妥。然而细加推敲,这句话却包含着两个明显的错误:第一,从教育目的来看,我们的宗

期刊

教育目的人格力量开发修身教育教学过程受教育者“言传身教”育人过程

抗恶劣环境的石英晶体振荡器

会议

抗恶劣环境

石英钟罩式MWPCVD制备金刚石薄膜的研究

与本文相关的学术论文