论文部分内容阅读
可变光衰减器是一种关键的光纤通信无源器件，本文介绍了一种新型的采用二次扩散/刻蚀正面体硅工艺制作的光通信用挡板式微机械可变光衰减器，测试表明，该器件具有插入损耗低、动态衰减范围大、偏振相关损耗低、波长相关损耗低、响应时间快、驱动电压小、功耗低等特性，能够满足光通信系统，特别是WDM光传输系统对于可变光变减器的技术指标要求。