纳米MgzZn1-zO薄膜的制备及其光学性质

来源 :第三届上海纳米科技与产业发展研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fllmn2585
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采用脉冲激光沉积(PLD)方法在400℃下10PaO2气氛中制备MgxZn1-xO薄膜,研究了Mg含量对MgxZn1-xO薄膜能带宽度的影响。通过X射线衍射(XRD)、紫外-可见光度计表征ZnO薄膜的结构和光学性能。结果表明,MgxZn1-xO薄膜为单相六角纤锌矿结构,没有出现显著的第二相,而且具有高度c轴取向。并且随着Mg含量的增加,所得MgxZn1-xO薄膜的c轴晶格常数减小,带隙宽度由3.23eV(x=0)几乎线性增到3.77eV(x=0.30)。
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