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研究三重串联电感耦合等离子体质谱(ICP-MS/MS)法直接测定高纯氧化铈中的14种稀土杂质元素的方法.采用氦气和氧气反应池在串联质谱MS/MS模式,有效克服了基体对待测元素的干扰,样品加标1.0ng/ml14种混合稀土标样测得的回收率为90.7%~104.2%,相对标准偏差(RSD)为1.9% ~ 5.9%.该方法能够满足纯度为5N(99.999%)及以上的高纯氧化铈中14种杂质元素的直接测定.