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采用缠绕式射频磁控溅射方法在PET表面沉积SiOx薄膜。通过红外光谱(FTIR),扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)观察分析射频功率、薄膜厚度等参数对SiOx薄膜组成、表面形貌、阻隔性能的影响。FTIR分析表明,在射频功率达到一定值后,SiOx与基材PET相互作用而产生中间层;通过薄膜表面形貌及透湿与透氧测试发现射频电源功率2 000 W时,SiOx薄膜表面粗糙度最小,薄膜粒子间结合致密,对水蒸汽、氧气的阻隔性最好。