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MOCVD技术制备GaSb/Si异质外延结构及表面形貌研究
【机 构】
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集成光电子学国家重点联合实验室,吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012
【出 处】
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第十二届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2012年期
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