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本文对采用新方法试制的IG-PHEMT的DC和RF特性进行了评价,并介绍了器件的简单制造工艺.
新的Inp基InGaAs/InAlAs绝缘栅P-HEMT的试验
【摘 要】
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本文对采用新方法试制的IG-PHEMT的DC和RF特性进行了评价,并介绍了器件的简单制造工艺.
【机 构】
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中国航天工业总公司西安微电子技术研究所
【出 处】
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第六届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
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2001年期
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