【摘 要】
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在利用药液腐蚀剥离对集成电路(IC,Integrated Circuit)进行成像过程中,有时图像中会出现小块的污染区域.为了方便IC图像后续处理工作,污染区域复原工作必须首先进行.基于IC
【机 构】
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中科院自动化所国家集成电路中心(北京)
【出 处】
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中国自动化与信息技术研讨会暨2004年学术年会
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在利用药液腐蚀剥离对集成电路(IC,Integrated Circuit)进行成像过程中,有时图像中会出现小块的污染区域.为了方便IC图像后续处理工作,污染区域复原工作必须首先进行.基于IC图像中存在相同或相似的结构,本文提出了一种污染IC图像修复算法.算法分为四个步骤,即污染区域定位、模板选取、匹配和融合.首先我们利用污染区域的形状、大小和灰度值方差信息来确定图像中的污染区域所在的矩形框.然后在污染区域的四周选择匹配候选模板,模板的选择是基于其大小和边缘点的数目.接下来,在目标图像中匹配选择的模板,从而获得目标图像中的用来与污染区域融合的相似区域.最后,利用模糊积分理论融合污染区域和相似区域得到修复的IC图像.
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