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会议论文
一种雷达微带电路单元的制作
一种雷达微带电路单元的制作
来源 :2000全国第八届微波集成电路与移动通信学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:eyoujin
【摘 要】
:
本文提出了一种雷达用微带电路单元的工艺设计及其实现.使用铜箔厚度为18μm的衬铝板,通过工艺线宽设计,合理选择相关工艺参数,使用湿法刻蚀,抵消了侧腐蚀的影响,成功地
【作 者】
:
解启林
【机 构】
:
信息产业部电子第三十八研究所,合肥9023信箱68分箱,230031
【出 处】
:
2000全国第八届微波集成电路与移动通信学术年会
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
雷达
微带电路单元
工艺线宽设计
铜箔厚度
湿法刻蚀
合理选择
工艺设计
工艺参数
大面积
侧腐蚀
制造
铝板
精度
电讯
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本文提出了一种雷达用微带电路单元的工艺设计及其实现.使用铜箔厚度为18μm的衬铝板,通过工艺线宽设计,合理选择相关工艺参数,使用湿法刻蚀,抵消了侧腐蚀的影响,成功地制造出了330mm×330mm大面积微带电路单元,其精度为+0.01~-0.01mm,满足了具体雷达的电讯设计要求。
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