【摘 要】
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化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、高耐磨性及稳定的表面化学性能等接近天然金刚石的优异性能,使其在提高传
【出 处】
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第八届中国金刚石相关材料及应用学术研讨会
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化学气相沉积(chemical vapor deposition,CVD)金刚石薄膜具有高硬度、高弹性模量、低摩擦系数、高耐磨性及稳定的表面化学性能等接近天然金刚石的优异性能,使其在提高传统工具的耐磨减摩性能方面具有广阔的应用前景。本文首先介绍了采用热丝CVD(hot filament CVD,HFCVD)法制备金刚石薄膜的沉积原理和具体方法；其次,概述了微米金刚石(micro crystalline diamond,MCD)、纳米金刚石(nano crystalline diamond,NCD)、超光滑金刚石复合薄膜(ultra-smooth composite diamond film,USCD)、掺硼金刚石(boron doped diamond,BDD)和掺硅金刚石(silicon doped diamond,SDD)5种CVD金刚石薄膜的形貌特征及性能；最后,结合实际实验或生产数据,重点介绍了CVD金刚石薄膜涂层刀具、拉拔模具和耐磨器件在延长工具使用寿命、改善加工产品质量方面表现出的优越性能。
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