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会议论文
表面复合处理技术在模具上的应用
表面复合处理技术在模具上的应用
来源 :广东省真空学会2011年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhihong0223
【摘 要】
:
本文综述了模具表面改性的新技术,包括了化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PCVD)、物理气相沉积(PVD)等.重点介绍了模具离子氮碳共渗与沉积类金刚石(DLC)膜复合
【作 者】
:
侯惠君
代明江
林松盛
韦春贝
廖芳
胡芳
【机 构】
:
广东省工业技术研究院新材料研究所,广东广州510651广东省工业技术研究院新材料研究所,广东广州510651;华南理工大学材料科学与工程学院,广东广州510640
【出 处】
:
广东省真空学会2011年学术年会
【发表日期】
:
2011年12期
【关键词】
:
模具
表面改性
类金刚石膜
离子氮碳共渗法
离子氮碳沉积法
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本文综述了模具表面改性的新技术,包括了化学气相沉积(CVD)、等离子体增强化学气相沉积(PCVD)、物理气相沉积(PVD)等.重点介绍了模具离子氮碳共渗与沉积类金刚石(DLC)膜复合处理的性能及其应用.
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