论文部分内容阅读
提出一种采用背面保温层的2倍频YAG激光晶化多晶硅技术.采用此技术后,晶化后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸与霍耳迁移率都提高了将近一倍.此技术具有两种效应:保温效应和自加热效应。同时,此技术与传统的覆盖层技术相比还具有工艺相对简单和较宽的工艺窗口等特点.
背层技术的倍频YAG激光晶化多晶硅
【摘 要】
：
提出一种采用背面保温层的2倍频YAG激光晶化多晶硅技术.采用此技术后,晶化后的多晶硅薄膜的晶粒尺寸与霍耳迁移率都提高了将近一倍.此技术具有两种效应:保温效应和自加热效应
【机 构】
：
Institute of Photo-electronics,Nankai University,Tianjin,300071,China
【出 处】
：
2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会
【发表日期】
：
2013年期
其他文献
想捕捉水滴跃出水面时的优美细节与形态,我们除了需要一支离机闪光灯,还需要很多很多的耐心。布列松在谈到他著名的“决定性瞬间”理论时一定没有想过水滴摄影这件事,但是这
“雀巢的总裁最初只是一个卖冰激凌的销售员,通用电器现任 CEO 伊梅尔特也有着相似的经历。我想,这些总裁和 CEO 们在人生起步阶段和事业发展初期,肯定没有想过将来一定能够
目的 分析精神科药物不良反应情况,以提高临床用药安全性.方法 选择2017年6月-2019年6月沈阳市精神卫生中心收治的服用精神科药物出现相关不良反应的患者200例,回顾性分析患
注:本注意事项只适用于省级机关事业单位的参保人员,对于我省各地区的参保人员来说,其需要注意的事项可向当地的劳动保障部门咨询。一、国内出差、探亲、进修、讲学学习、考
在经过了连续的反弹之后,市场估值得到了大幅提升,随着指数的不断攀升,核心板块的领涨动力在不断减弱,核心板块的趋弱,自然会导致市场在交易上的做空动力增加。
After a con
采用特殊液相沉淀法制备氢氧化铬前驱体纳米粉体为原料,并首次用高压气固反应床制备CrN纳米粉体,在650-850℃,压强为0-0.6MPa时,氨解2～4小时,制备高纯CrN纳米粉体,通过体用透
在哪儿生? 很早以前,人们是在家里生孩子,由家里人、亲戚来接生。这样的好处是产妇的心理很松弛,周围的环境是熟悉的,人也是熟悉的,但也比较危险,因为都不是专业人员,遇到问
高产优质番茄新杂交种“Ｌ一４０２”由辽宁省农业科学院园艺研究所选育成功的高产优质番茄新杂交种“Ｌ一４０２”，成为鲜食品种的佼佼者，不仅深受省内外广大生产者、经销者和消费者青睐，而且已
目的 观察地西泮对儿童发热性疾病热性惊厥复发的预防作用.方法 选取2017年10月-2018年10月于广东省佛山市第一人民医院儿科就诊的发热性疾病患儿40例,依据随机数字表法分为
我们用低温水浴法制备了Eu-Ru共掺杂NiO/SnO2复合纳米粒子,透射电镜TEM结果表明纳米粒子粒度均匀,大小平均约50nm,有团聚现象,选区内电子衍射表明其结晶性不好,所测晶面
会议