【摘 要】
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本研究采用低温水浴法在玻璃衬底上首先沉积一层ZnO纳米棒阵列(NRAs)，并以此为基底溅射获得Al掺杂ZnO (AZO)薄膜。该层薄膜继承并修饰底层纳米棒的织构化结构，得到了六面金
【机 构】
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宁波大学信息科学与工程学院,宁波315211中国科学院宁波材料技术与工程研究所,宁波315201
【出 处】
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2014中国溶胶-凝胶学术研讨会暨国际论坛
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本研究采用低温水浴法在玻璃衬底上首先沉积一层ZnO纳米棒阵列(NRAs)，并以此为基底溅射获得Al掺杂ZnO (AZO)薄膜。该层薄膜继承并修饰底层纳米棒的织构化结构，得到了六面金字塔型表面织构。实验系统性研究了ZnO NRAs的结构对溅射后AZO薄膜的结构、形貌特征、致密度以及光电性能的影响。结果表明，在结构规整、独立的ZnO NRAs上直流溅射得到的AZO薄膜，表面(101)晶相的六面金字塔结构的轮廓明显；AZO薄膜的光学性能有显著提高，透过率高于85％(含衬底)，薄膜的电阻率可以控制在10-4 Ω·cm数量级。
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