【摘 要】
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以多晶硅废料为主要原料,以氯化铵为添加剂,利用电磁感应加热法在氮气气氛下合成了SiC/Si3N4复合粉体.研究了氯化铵添加量、加热时间对SiC/Si3N4复合粉体的影响.结果表明:多晶硅废料的主要成分是Si和SiC,其在高温下与氮气反应生成以α-Si3N4、β-Si3N4和SiC为主要成分的粉体.随着氯化铵含量的增加,合成产物中的纤维状α-Si3N4含量增加.且随加热时间的增加,复合粉体中的Si3
【机 构】
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东北大学冶金学院 辽宁沈阳 110819
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以多晶硅废料为主要原料,以氯化铵为添加剂,利用电磁感应加热法在氮气气氛下合成了SiC/Si3N4复合粉体.研究了氯化铵添加量、加热时间对SiC/Si3N4复合粉体的影响.结果表明:多晶硅废料的主要成分是Si和SiC,其在高温下与氮气反应生成以α-Si3N4、β-Si3N4和SiC为主要成分的粉体.随着氯化铵含量的增加,合成产物中的纤维状α-Si3N4含量增加.且随加热时间的增加,复合粉体中的Si3N4含量也增加,这主要是因为延长加热时间能有效促进硅粉的氮化.通过电磁感应法加热廉价的多晶硅废料和氯化铵制备Si3N4/SiC复合材料,可以有效地降低其生产成本.
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