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Low Temperature Synthesis of Al Doped ZnO Thin Films by Facing Targets Sputtering
【机 构】
:
Center for Advanced Plasma Surface Technology,Sungkyunkwan University,300 Chunchun-dong,Jangan-gu,Su
【出 处】
:
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
:
2011年期
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