【摘 要】
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设计了一种用于纳米压印光刻机的精密定位工作台,并对其进行构型设计、运动学分析与建模研究等关键技术.首先以传统3-PPRR并联机构为基础,将机构中的刚性运动副用柔性铰链代
【机 构】
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河北工程大学 机电工程学院,河北邯郸056038
【出 处】
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2015工业设计与协同创新学术会议暨第20届全国工业设计学术年会
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设计了一种用于纳米压印光刻机的精密定位工作台,并对其进行构型设计、运动学分析与建模研究等关键技术.首先以传统3-PPRR并联机构为基础,将机构中的刚性运动副用柔性铰链代替,设计了一台精密定位工作台,并建立了机构的伪刚体模型.通过其运动约束方程,得出了机构的位置逆解表达式,进而得到机构的位置正解表达式.利用RecurDyn软件对机构进行运动仿真从而对其运动轨迹进行验证.
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