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本文对液晶显示器、彩色滤光片以及有极发光显示器等干制程设备如:红外线炉、紫外线臭氧清洗机、冷却机等作一介绍,同时对涂胶、曝光、烘烤等技术进行研究.
LCD产业乾制程设备之发展现况
【摘 要】
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本文对液晶显示器、彩色滤光片以及有极发光显示器等干制程设备如:红外线炉、紫外线臭氧清洗机、冷却机等作一介绍,同时对涂胶、曝光、烘烤等技术进行研究.
【机 构】
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志圣工业FPD设备事业部(广州)
【出 处】
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2002中国平板显示学术会议
【发表日期】
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2002年3期
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