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本文详细介绍净化空气中露点的检测概况,Al<,2>O<,3>电容式露点仪测量中的主要误差分析及一些问题的讨论如传感器的永久性慢漂移等.
AlO电容式露点仪测量中的主要误差分析
【摘 要】
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本文详细介绍净化空气中露点的检测概况,AlO电容式露点仪测量中的主要误差分析及一些问题的讨论如传感器的永久性慢漂移等.
【机 构】
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所(上海)
【出 处】
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2002年全国湿度、水分、气体学术交流会
【发表日期】
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2002年8期
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