本文回顾了基于铂网编织和MEMS技术的电化学振动传感器的发展历程.电化学振动传感器使用电解液作为惯性质量块,而运动的电解液使机械运动转化为输出电流.与传统的振动传感器相比,电化学振动传感器避免了机械噪声.本文列举了目前世界上电化学振动传感器主要使用的不同类型的电极结构,并分别对各种结构的优缺点进行了总结.阳极—阴极—阴极—阳极组合成的对称电极结构使得两路输出电压经差分后噪声变得更小。不同电极结构的类型，有各自的优缺点。叠层电极结构的优势相当明显：在提高了灵敏度的同时，噪声水平依旧很低。阴极的孔径大小对传感器的频响特性影响非常大，通过改变阴极孔径的大小，可以得到不同的频率响应曲线，再经过后端的电路补偿，可以制作出符合特定频带范围和动态范围的振动传感器。电化学振动传感器以其宽频带范围、低噪声、高灵敏度的特点，在地震监测、安防、石油勘探中有着广阔的应用前景。