Residual Stress Measurement on Hard Coatings bycombining Nanoindentation and Average X-ray Strain(AX

来源 :第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：fenjinzhu

【摘要】

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Outline Introduction Objective Theoretical Basis Experimental Procedures Results and Discussion-Strain Anisotropy on thin films and its Influence-Accurate stres

【作者】

：

黄嘉宏王安妮喻冀平

【机构】

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國立清華大學工程與系統科學系

【出处】

：

第十二届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会

【发表日期】

：

2016年10期

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Outline Introduction Objective Theoretical Basis Experimental Procedures Results and Discussion-Strain Anisotropy on thin films and its Influence-Accurate stress measurement-Thickness Limit

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