【摘 要】
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在许多材料加工应用中，飞秒激光系统已经证明了它们的潜力。飞秒激光器的独特优势，即对金属烧蚀结构以及介质目标的高消融效率和精度在许多研究中得到证明。虽然加工质量达到了工业要求，但是为了满足经济的工业用途，加工速度需要加以改进。为了能够快速、有效的加工部件，高平均功率和重复频率是封飞秒激光系统的要求。此外，激光系统需要具借足够的强硬性和稳定性，來维持生产層面的要求。强硬性和可靠性是非常重要的工業用激光
【出 处】
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第十届亚洲(深圳)国际激光智能制造展暨论坛、第二届亚洲(深圳)国际工业4.0展暨论坛
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在许多材料加工应用中，飞秒激光系统已经证明了它们的潜力。飞秒激光器的独特优势，即对金属烧蚀结构以及介质目标的高消融效率和精度在许多研究中得到证明。虽然加工质量达到了工业要求，但是为了满足经济的工业用途，加工速度需要加以改进。为了能够快速、有效的加工部件，高平均功率和重复频率是封飞秒激光系统的要求。此外，激光系统需要具借足够的强硬性和稳定性，來维持生产層面的要求。强硬性和可靠性是非常重要的工業用激光器的特点。在本文中，我们将封Spirit(R)HE激光微加工的实际应用作概述。加工条件对聚合物、陶瓷以及玻璃材料的激光加工效率和质量的影响的研究也會呈現。
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众所周知用超短脉冲激光加工对工件产生的热影响非常低。超短脉冲激光器在不同行业的有巨大应用潜力，如平板显示，印刷，电子，航空航天和汽车。到目前为止，我们实现了小部件的微精加工。超短脉冲激光技术更广泛的应用在于是宏观元件的微精加工。为了满足在工业应用中的高生产率和高精度的要求，首先就需要高功率/高能量超短脉冲激光源。有一个关于这方面的一些好消息：现在市场上已经有一些坚固耐用，性能稳定，参数范围较宽的超
全固体激光器的技术与应用创新层出不穷。在超短脉冲领域里，自从突破了透明及脆性材料加工工业化应用后，能利用此技术加工的新材料蒸蒸日上，参数不断地优化以致得到最佳效果，其中包含复合材料以陶瓷。 除此之外，市场需求也同时推动了激光器的创新以及设计的优化。此报告指出了通快激光部对今年的发展做了个总结。
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我们讨论利用空间整形或时空整形的飞秒激光脉冲在玻璃与晶体内部开展三维微纳结构制备。我们展示这些技术可以解决一系列与实际应用密切相关的问题。
介绍面向工业加工应用的超短脉冲激光器相关关键技术及目前所取得的进展情况，以及其在工业加工中的应用展望。
伴随着“中国制造2025”的深入推进，精密加工产业对于超快激光器的需求将会持续增长，同时，更多新的精密加工应用开始在市场呈现，本报告旨在探讨超快激光器的工业化生产制造、应用与普及。
皮秒激光微细加工系统集成视觉检测系统&自动化系统&机器人系统在半导体晶圆划片、IC指纹识别芯片切割、电感陶瓷高速钻孔、消费电子常见脆性材料(玻璃、陶瓷、蓝宝石)切割、陶瓷基板微细切割钻子L、柔性电子薄膜切割钻孔等应用上的工艺技术研发、设备集成及成套解决方案。
固体激光器以超快激光和纳秒激光为主，近年来均获得快速发展。超快激光浅层加工展现出高质量高效率，但大深度时遇到瓶颈。纳秒激光由于脉冲能量较大，所以深度能力占优，但热影响偏大。如何克服热影响和深度能力不足的问题是激光微细加工面临的挑战。本演讲论述我们对难加工材料的微细加工结果，以及以水助激光加工为代表的新工艺探索。
由于应用的广泛性，晶硅功能性表面的研究开发一直颇受关注。本报告介绍了一种应用于晶硅表面亚微米结构阵列制造的超快皮秒激光辅以其他方法的复合微制造技术，基于该技术，在晶硅表面获得了各种不同的具有微-纳复合结构特征的微结构阵列，由此带来了晶硅表面在陷光、超疏水以及特殊荧光和拉曼SERS信号增强等方面的新功能。该项技术通过不同工艺对微结构的制备控制实现对其性能的调控作用，这项适用于大面积制造的、低成本的可
具有微米、纳米结构特征表面其新颖、独特的电学、光学和机械等性能，材料表面功能化的纳米加工方法己吸引了广泛的研究兴趣，并在众多应用领域，如催化、清洁能源和生命科学等方面，展示了广阔的应用前景。固体材料表面的有序微/纳结构可以赋予材料独特的功能，如自清洁、超附着力、超轻型吸收性等，在工业、航空、航天、电子等领域具有广泛而深入的应用前景，发展高效和经济的制造表面微/纳结构技术具有重要的实际意义。激光加工