论文部分内容阅读
热铁盘抛光机在抛光CVD金刚石厚膜时,需要在800℃以上的真空环境下工作。高温及真空环境对抛光机的结构设计提出了较高的要求。本文针对抛光机的工作特点,对其动态密封、热保护、零件选材以及结构设计等方面进行探讨,并总结出高温真空环境下机械设计的准则。通过实验样机的研制,表明上述准则符合抛光机设计的要求。抛光机在温度850℃,真空度1.3×10-2Pa的条件下可以连续工作1小时以上,满足抛光CVD金刚石厚膜的要求。