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微流体技术在生物、化学、微机械等领域具有广阔的应用前景，微液滴的流动与控制技术已经成为最热门的研究领域之一，其中电致湿润控制技术在近年来得到了广泛关注。人们对微液滴在直流或高频交流电压条件下，液滴接触角的变化、液滴的分离、移动和融合等方面做了大量的理论与实验研究，诸如微液滴在施加电压后，液滴接触角发生变化，在交流电压下微液滴内部的流动和外部振动形态等现象，本文着重研究微液滴的电致振动问题。为了得到粗糙表面液滴的电致振动规律，本文在具有二级粗糙结构的十四酸铜表面，研究了电压激振频率、电压大小、液滴体积等对液滴震动特性的影响，同时用数值模拟方法研究了微液滴电致振动规律，分析了微液滴振动的机理。