【摘 要】
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该文梳理了微系统技术近期发展动向,集成微系统技术是最近十年来美国国防部DARPA大力推进的新技术，它的核心是不同功能的多种先进元器件通过异构集成技术，以三维集成的结构形式设计、制造成具有复杂功能的芯片级规格的微小型电子武器系统,介绍了我国微系统技术的发展现状及其在电子对抗领域的作战应用,微系统技术正从平面集成到3维集成、从微机电/微光电到异质混合集成、从结构/电气一体化到多功能一体化集成等方向发展
【机 构】
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中国电子科技集团公司第五十一研究所 上海 201802
【出 处】
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中国电子学会电路与系统分会第二十六届年会
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该文梳理了微系统技术近期发展动向,集成微系统技术是最近十年来美国国防部DARPA大力推进的新技术，它的核心是不同功能的多种先进元器件通过异构集成技术，以三维集成的结构形式设计、制造成具有复杂功能的芯片级规格的微小型电子武器系统,介绍了我国微系统技术的发展现状及其在电子对抗领域的作战应用,微系统技术正从平面集成到3维集成、从微机电/微光电到异质混合集成、从结构/电气一体化到多功能一体化集成等方向发展，并正与生命科学、量子技术、微纳前沿交织融合。微系统相关产品也正从芯片级、组部件级向复杂程度更高的系统级(微型飞行器、片上实验室)等发展，成为聚集前沿科技创新发展的重要领域。微系统技术对武器系统小型化、智能化和轻量化将产生颠覆性影响，在一定程度上将改变未来战争作战模式。
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