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本文对干涉显微镜在进行校准/测试工作中,分析计算了不确定度的来源和分量,以及合成标准不确定度和扩展不确定度,并对干涉显微镜进行了重复性、稳定性考核和不确定度的验证,表明干涉显微镜能按检定系统表和检定规程开展量值传递.
干涉显微镜不确定度的分析评定
【摘 要】
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本文对干涉显微镜在进行校准/测试工作中,分析计算了不确定度的来源和分量,以及合成标准不确定度和扩展不确定度,并对干涉显微镜进行了重复性、稳定性考核和不确定度的验证,
【机 构】
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中国空气动力研究与发展中心校准/测试实验室
【出 处】
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西南地区自动化、仪器仪表及电控技术学术年会
【发表日期】
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2002年期
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