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简要介绍了可用于高频互补双极工艺的Ｖ槽隔离和先进的深槽隔离技术的研究情况。
V槽隔离与深槽隔离技术
【摘 要】
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简要介绍了可用于高频互补双极工艺的Ｖ槽隔离和先进的深槽隔离技术的研究情况。
【机 构】
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部二十四所(重庆)
【出 处】
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第十届全国半导体集成电路、硅材料学术会
【发表日期】
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1997年期
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