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本文主要分析了频率输出的电容式压敏微传感器的工作原理.
频率输出的电容式压敏微传感器
【摘 要】
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本文主要分析了频率输出的电容式压敏微传感器的工作原理.
【机 构】
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厦门大学机电工程系
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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