变间隙式电容传感器线性度研究

来源 :第五届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qianxiaojiong
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该文对变间隙式电容传感器的线性度进行了研究,并给出了相应的计算公式。
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