【摘 要】
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<正>质谱计作为测量气体分压力的真空计,要使质谱计测量的数据准确,就必须对质谱计的灵敏度进行校准,这也是质谱计定量分析的前提。但是,由于质谱计在测量混合气体中某种气体
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<正>质谱计作为测量气体分压力的真空计,要使质谱计测量的数据准确,就必须对质谱计的灵敏度进行校准,这也是质谱计定量分析的前提。但是,由于质谱计在测量混合气体中某种气体成分的灵敏度时会受到其它气体的影响,因此使用对单一气体校准得到的灵敏度来测量混合气体中该气体的分压力值时就会产生偏差。所以,对一些特定测量对象,首先必须用标样气体对质谱计进行校准。 将标样混合气体引入校准室时,由于进样针阀处的小孔流导对不同种类气体、不同流动状态气体的歧视效应差异以及抽气泵对不同种类气体的抽速差异,会使校准室中混合气体的浓度
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