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本文简要的介绍了MEMS系统级模拟仿真,这是MEMS CAD最为关键的重要环节.MEMS是一个迅速发展的多学科技术交叉的领域,涉及微电子学、微机械学、微动力学、微流体学、微热力学、材料学、物理学、化学、生物学等多个技术领域与学科.系统级模拟仿真是MEMS分析与设计的独特要求,也是MEMS CAD要实现的目标.要实现快速、精确的系统模拟的关键在于如何处理MEMS中的电能子系统及非电能子系统间的耦合,也即多物理场耦合问题.本文对此进行了分析.