【摘 要】
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<正>离子束抛光工艺与机床已在欧美等发达国家具有较为成熟的应用。目前国内在该工艺技术与机床方面尚处于探索研究阶段,与国外先进水平尚有一定差距。面向ICF激光装置中超精
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<正>离子束抛光工艺与机床已在欧美等发达国家具有较为成熟的应用。目前国内在该工艺技术与机床方面尚处于探索研究阶段,与国外先进水平尚有一定差距。面向ICF激光装置中超精密光学元件加工需求,机械制造工艺研究所与激光聚变研究中心联合自主研制开发了加工范围达300 mm×300 mm的超精密离子束抛光机床,见图1。该机床采用离子束束源位置、姿态实时在线调控技术,提升了离子束修形加工能力;基于IPC+UMAC的开放式数控平台开发了具有自主知识产权的光学制造CAM系统,实现了工艺机床与控制
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