【摘 要】
:
本文使用Fluent流场仿真软件模拟了电镀液对硅通孔(TSV)的浸润过程,讨论了TSV深宽比、电镀液流速、电镀液表面张力、接触角以及压强等主要影响因素.通过对比仿真寻找出能在电
【机 构】
:
上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术重点实验室,上海200240
【出 处】
:
2013年海峡两岸(上海)电子电镀及表面处理学术交流会
论文部分内容阅读
本文使用Fluent流场仿真软件模拟了电镀液对硅通孔(TSV)的浸润过程,讨论了TSV深宽比、电镀液流速、电镀液表面张力、接触角以及压强等主要影响因素.通过对比仿真寻找出能在电镀之前使电镀液完全浸润TSV所有表面的预润湿处理方法,以防止因润湿不彻底在TSV底部形成气泡而导致的有空洞电镀填充.通过仿真发现,电镀液表面张力越小,电镀液与待电镀样片表面的接触角越小,浸润过程中电镀液的流速越慢,浸润所处环境的压强越低,则越有利于电镀液对TSV的浸润;本文中,流速为0.002m/s时即可对深宽比低于或等于130μm:30μm的TSV实现完全浸润,浸润环境压强低于3000Pa时即可在流速为0.05m/s时对深宽比为150μm:50μm的TSV基本实现完全浸润.当TSV结构的深宽比大于2的时候,没有经过预润湿而直接放入电镀液的TSV结构很难实现无空洞电镀填充.
其他文献
目的:讨论颈动脉闭塞或狭窄性数字血管造影复合手术的护理配合.方法:选取颈动脉狭窄或闭塞患者100例进行研究,选取时间为200年4月到2021年2月.将患者随机分为观察组和对照组,
本文研究开发了一种通盲孔匹配的电镀铜添加剂CPP108,此添加剂既可以用于板面电镀又可以用于图形电镀.通过长时间试验线的小批量测试,于2010年5月成功用于生产,在美维电了图
目的:观察传染病患儿家属参与品管圈活动的作用.方法:研究对106例传染病患儿家属进行观察,并在2019年10月-2020年10月对其行随机分组处理,试验组53例参与品管圈活动,对比组53
为了使气象预报更好地服务于公众,以气象科学为主导的20多个生活气象服务指数从去年开始陆续在大众媒体上公布。目前,这些气象服务指数主要包括着装指数、晨练指数、风寒指
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。
Please download to view, this article does not support online access to view profile.
一、“丘未达,不敢尝” 生于春秋时代的孔丘,坚持“三戒”、“四忌”的养生之道,到了老年身体仍很好。强壮的体魄,使他在周游列国中能够克服各种艰难险阻,著书立说,为中华民
金属功能膜材料因其优异的性质而具有广阔的应用.目前,金属膜材料的电化学沉积制备主要是在水溶液中进行的,虽然人们对在水溶液中进行的金属电沉积已经进行了较为完善和
本文研究了应用于3D-MID制程中低温化学镀镍表面处理的工艺特征.阐述了溶液温度,pH值,镍离子及还原剂浓度对溶液稳定性,镀层外观,表面结构,镀层磷含量等的影响.实验表明在60
她不爱说话,美丽清秀的脸上总挂着淡淡的微笑。她属于那种不大会和导演交流想法,但摄影机一开便释放出光彩的演员。她绝没有矫揉造作。以前很少人知道她,《女人不是月亮》中
何祚庥1927年生于上海。1945年从上海南洋模范中学毕业后,考入上海交通大学化学系。两年后又进北京清华大学学习,1951年毕业并分配至中共中央宣传部科学处工作。同时,他也开