微型堆燃料棒的电子束焊接

来源 :第六届电子束离子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ddcrow
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其他文献
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利用电子束研制出0.4μm,的掩模板,通过接触光刻,在GaAs片上两次曝光研制出12GHz的微波器件。
会议
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