【摘 要】
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<正>文章总结了利用双旋转补偿器结构的多通道椭偏术技术及其应用,作为性能最强大的实时,单点光学测量手段的光谱椭偏术,可在0.25秒内,宽光谱范围1.7～3.5eV一次测量全部16个穆
【机 构】
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中国计量科学研究院; 长春光学与精密机械研究所;
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<正>文章总结了利用双旋转补偿器结构的多通道椭偏术技术及其应用,作为性能最强大的实时,单点光学测量手段的光谱椭偏术,可在0.25秒内,宽光谱范围1.7～3.5eV一次测量全部16个穆勒矩阵元。椭偏仪各光学器位置可以用PC1r SC2r A表示,其中P,S,A分别代表起偏器,样品和检偏器,C1r和C2r表
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