厚膜电路的清洗替代技术

来源 :2003年清洗技术国际论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:df6b1
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本文对厚膜混合集成电路产品的ODS清洗替代项目的技术路线和试验进行了分析。通过对厚膜电路产品污染物、在厚膜电路产品制造过程中各主要工艺阶段不同的清洗目的、被清洗污染物、对清洗效果的不同要求的分析,正确地选择出了替代技术路线。
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