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国内引进了不少离子注入机，维修问题日渐重要，对其损坏部件，用国产配件进行替换，不乏为又快又省的维修方法。该文叙述了九年多来，作者在维修ＩＭ－２００Ｍ型离子注入机的实践中，对损坏的吸极电源，氟里昂热交换器和化学机械泵等重要部件，用自制的或改制的国内配件进行替换，从而保证了设备安全运行二万五千多小时，注入八万五千多块硅及ＧａＡｓ靶片，完成了集成电路研制和开发任务。（本刊录）