【摘 要】
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本文利用发射光谱诊断方法,研究了Kr-Hg射频放电E模式向H模式转变过程中等离子体的电特性和光谱特性.研究发现从E放电转变为H放电时,焦耳热在等离子体加热模式中占据主导地位
【机 构】
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复旦大学电光源研究所,上海200433
【出 处】
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2013上海照明科技及应用趋势论坛
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本文利用发射光谱诊断方法,研究了Kr-Hg射频放电E模式向H模式转变过程中等离子体的电特性和光谱特性.研究发现从E放电转变为H放电时,焦耳热在等离子体加热模式中占据主导地位,等离子体发光效率逐步提高,放电的光输出有数量级的增强,电子浓度剧烈增加,高能电子比例明显增加.通过对比Kr811.3nm与Kr 785.5nm谱线发现E放电中亚稳态浓度随放电电流的增加而增加;而在H放电中趋势相反,由于电子浓度激增,电子和亚稳态原子的碰撞使得亚稳态猝灭机理占主导作用,亚稳态浓度随电子浓度增加而降低。
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