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本文介绍了采用单环微谐振器的光滤波器的基本原理，详细介绍了旋转抛涂法、真空蒸发法、光刻及反应离子刻蚀法等制备微环谐振器的工艺过程。波导包层材料采用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物，以双酚A环氧树脂为高折射率调节剂，采用二者在共聚物中的不同配比来调节芯层材料的折射率。最后给出了初步实验结果。