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近年来,由于FeCo软磁薄膜具有高的饱和磁化强度而受到广泛关注[1]。但FeCo的矫顽力较高,限制了FeCo薄膜的应用。因此,人们尝试在FeCo合金中掺入第三种元素(如Zr、Cd、B、P等),这种掺杂可以有效的提高FeCo基软磁薄膜的软磁性能,同时相比于纯FeCo合金掺杂后的FeCo基软磁薄膜具有良好的抗氧化性和耐腐蚀性。因此,对在FeCo中掺入C元素的研究是很有必要的。