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为了实现MEMS传感器低成本、批量化生产的要求，解决传统测试仪表功能固定、可升级空间较小等缺点，建立一套高效、可靠的测试系统显得尤为重要。本文介绍了一种以振动台和温湿度交变试验箱作为物理环境系统，以计算机和模块化仪器为电学测试系统核心硬件，以Labview为上层应用程序的MEMS加速度计测试系统，该测试系统可以实现灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等表征传感器性能指标的所有参数的测试。重点阐述了该自动化测试系统实现方法和测试数据实时记录、分析与显示的可视化功能，为快速、高效、全自动的MEMS传感器测试提供了技术支持。