【摘 要】
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介绍了一种制备W和WC纳米粉的新方法,自耗电极电弧蒸发-惰性气体冷凝制备W纳米微粒,W纳米微粒与C混合经1050°C1h热处理碳化制备WC纳米微粒.经透射电镜观测W和WC纳米微粒的颗粒尺寸分别为20-30nm和60-80nm.经X-射线衍射分析发现W纳米微粒中有约16.8℅的氧化物(主要为WO),氧含量约为3.2℅;WC纳米微粒中无W过渡相和氧峰出现.根据W纳米微料衍射峰半高宽,利用谢乐公式计算的
【机 构】
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中国工程物理研究院(四川绵阳) 南京大学固体微结构实验室(南京)
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介绍了一种制备W和WC纳米粉的新方法,自耗电极电弧蒸发-惰性气体冷凝制备W纳米微粒,W纳米微粒与C混合经1050°C1h热处理碳化制备WC纳米微粒.经透射电镜观测W和WC纳米微粒的颗粒尺寸分别为20-30nm和60-80nm.经X-射线衍射分析发现W纳米微粒中有约16.8℅的氧化物(主要为W<,18>O<,49>),氧含量约为3.2℅;WC纳米微粒中无W<,2>过渡相和氧峰出现.根据W纳米微料衍射峰半高宽,利用谢乐公式计算的不同气氛压力下制备的纳米微粒颗粒尺寸为19-23nm,颗粒尺寸基本与气氛压力的对数成正比,即:d∝lnP.
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本实验采用射频磁控溅射方法,在高阻单晶Si(100)衬底上制备出了纳米SiC薄膜.采用高分辨原子力显微镜(AFM),观察到合适条件下沉积的SiC薄膜是由纳米尺寸的SiC晶粒构成,这与红外光谱(FTIR)的结果相吻合.改变沉积工艺参数,可以得到具有不同纳米结构的SiC薄膜.
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