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利用线阵CCD进行一维无接触尺寸测量的应用十分广泛,本文主要针对线阵CCD对微小尺寸测量的特殊应用,建立被测件尺寸经过衍射后与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高精度测量,同时对该测量方法的误差进行了分析.
线阵CCD微小尺寸测量的基本原理与误差分析
【摘 要】
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利用线阵CCD进行一维无接触尺寸测量的应用十分广泛,本文主要针对线阵CCD对微小尺寸测量的特殊应用,建立被测件尺寸经过衍射后与CCD视频输出的函数关系来达到对微小尺寸的高
【机 构】
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中国地震局地震研究所,武汉,430071湖北咸宁职业技术学院,咸宁,437100
【出 处】
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全国十五届十三省光学学会学术大会
【发表日期】
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2006年10期
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