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<正>低温等离子体技术经过几十年的发展,已经取得了许多优异的成果,而微波等离子体则是这一领域中成果最为突出的一个方面。本文从微波等离子体技术的原理、发展历史开始,通过对微波等离子体技术近几年的研究成果的介绍,分析了该领域在今后的发展趋势,对微波等离子体技术的发展进行了比较详尽的综述。
微波等离子体技术应用进展
【摘 要】
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<正>低温等离子体技术经过几十年的发展,已经取得了许多优异的成果,而微波等离子体则是这一领域中成果最为突出的一个方面。本文从微波等离子体技术的原理、发展历史开始,通
【机 构】
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武汉工程大学 等离子体化学与新材料重点实验室;
【发表日期】
：
2009年期
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