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用高频和准静态C-V技术研究含F栅介质的Fowler-Nordheim效应
用高频和准静态C-V技术研究含F栅介质的Fowler-Nordheim效应
来源 :第七届全国可靠性物理学术讨论会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yangzzhenhua
【摘 要】
:
该文建立了一套用于MOS电容热载流子损伤研究的自动测试分析系统,用高频和准静态C-V技术,分析研究了栅质中F离子的引入所具有的抑制Fowler-Nordheim高场应力损伤的特性,对F离子和高场应力作用机制进行了
【作 者】
:
张国强
严荣良
【机 构】
:
院新疆物理所(乌鲁木齐)
【出 处】
:
第七届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
:
1997年期
【关键词】
:
高频
准静态
技术
栅介质
高场应力
测试分析系统
作用机制
应力损伤
损伤研究
热载流子
离子
特性
套用
电容
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该文建立了一套用于MOS电容热载流子损伤研究的自动测试分析系统,用高频和准静态C-V技术,分析研究了栅质中F离子的引入所具有的抑制Fowler-Nordheim高场应力损伤的特性,对F离子和高场应力作用机制进行了讨论。
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