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<正>地球是人类的家园,地球的性质和变化,对人类有着巨大的影响。然而,要直接观察地球的内部结构及其变化并不现实,通过测量它产生的重力场来反演判断地球内部状况是人们的通常选择。加速度计是这些测量系统的核心部件之一,在地质勘查、矿产与油气田资源勘探和重力辅助导航、地震检波等领域有广泛的应用。重力场的变化非常微弱,这就对加速度计精度提出了非常高的要求。采用IC工艺制作的MEMS加速度计可以把器件和信号处理电路集成在同一块硅片上,具有尺寸小、质量轻、功耗低、