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形核对金刚石薄膜质量，结合力及其它一些性能都具有关键作用，高的形核密度有利于提高薄膜质量，增强附着力。该文研究了不同超声波研磨预处理对衬底金刚石形的影响。研究结果表明：采用大颗粒（４０μｍ）金刚石粉，或者小颗粒金刚石（１．５μｍ）与大颗粒ＴａＣ（２０μｍ）混合粉对衬底进行超声波研磨预处理，可大大促进金刚石形核。