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本文对超大规模集成电路生产控制中X射线荧光光谱分析的应用做了探讨,并BPSG/SiO<,2>膜层膜厚与成分分析为例介绍了XRF薄膜分析仪在半导体工业设计的应用.
集成电路生产控制中X射线荧光光谱分析的应用
【摘 要】
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本文对超大规模集成电路生产控制中X射线荧光光谱分析的应用做了探讨,并BPSG/SiO膜层膜厚与成分分析为例介绍了XRF薄膜分析仪在半导体工业设计的应用.
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所(上海)
【出 处】
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第五届全国X射线荧光光谱分析学术报告会
【发表日期】
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2002年5期
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