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研究了不同热处理条件对非晶氢化碳化硅薄膜(a-SiC∶H)对p型单晶硅钝化效果的影响,认为不同热处理条件影响了H在薄膜中的含量及向体硅的传输,进而影响了对体硅的钝化效果。
热处理对p型单晶硅非晶SiC∶H钝化效果的影响
【摘 要】
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研究了不同热处理条件对非晶氢化碳化硅薄膜(a-SiC∶H)对p型单晶硅钝化效果的影响,认为不同热处理条件影响了H在薄膜中的含量及向体硅的传输,进而影响了对体硅的钝化效果。
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程系 硅材料国家重点实验室,杭州 310027
【出 处】
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第十届中国太阳能光伏会议
【发表日期】
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2008年期
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