高纯铝箔在混合酸溶液中蚀孔的引发和生长机理

来源 :中国电子学会阻容元件专业委员会第10届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fcunui_w
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通过恒电流试验研究了高纯铝箔在2MHCL+0.5MNa<,2>Cr<,2>O<,7>+0.5MH<,2>SO<,4>+0.1MHF混合酸溶液中不同腐蚀时间时折试样表面形貌,探讨了蚀孔的引发和生长过程。对腐蚀区和未腐蚀区进行EDAX微量元素分析,初步提出蚀孔的引发和生长控制模型,合理地解释了恒电流实验的结果。
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