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介绍一般半导体制造系统的结构及其信息交互方式,提出一种基于Web Service技术上的通信模型,讨论其结构组成并探讨了其相关特点。给出该模型在某刻蚀机生产系统中的一个应用,并对实际生产效果做出了分析。同时提出Web Service在工业控制领域的发展的未来的工作方向。
一种基于Web服务的半导体制造系统的通信模型
【摘 要】
：
介绍一般半导体制造系统的结构及其信息交互方式,提出一种基于Web Service技术上的通信模型,讨论其结构组成并探讨了其相关特点。给出该模型在某刻蚀机生产系统中的一个应用,
【机 构】
：
清华大学,计算机科学与技术系,北京,100084
【出 处】
：
2007年中国智能自动化会议
【发表日期】
：
2007年期
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